국민대학교(총장 임홍재)는 신소재공학부 4학년 정종호 학생이 제1저자로 SCI 학술지 '머티리얼즈 레터스(Materials Letters)'에 'Unusual n-type doping of monolayer WSe2 by CF4 plasma treatment'라는 제목으로 논문을 게재했다고 6일 밝혔다. Materials Letters는 반도체를 포함한 응용물리 및 재료공학 분야의 SCI 학술지로, 네덜란드에서 매달 두 차례 발행된다.

정종호 학생은 실리콘 반도체 공정에서 널리 사용하는 불화탄소(CF4) 플라즈마 공정을 이셀렌화텅스텐 트랜지스터에 적용해 공정 조건에 따라 기존의 연구결과와 상반된 결과가 나타나는 것을 증명했다. 통상 불화탄소 플라즈마 공정 후 양전하인 정공주입효과가 나타나는 것으로 알려져 있지만, 정종호 학생은 공정 조건에 따라 음전하인 전자주입효과가 나타날 수 있다는 사실을 최초로 확인했다. 이러한 연구결과는 향후 이셀렌화텅스텐을 포함한 2차원 반도체의 실용화 연구에 크게 기여할 것으로 예상된다.

연구를 지도한 최웅 국민대 신소재공학부 교수는 "정종호 학생은 스스로 연구주제를 찾아 연구를 진행했는데, 이는 대학원생들도 하기 힘든 일"이라며 "이번 논문은 정종호 학생의 재능과 노력을 통해 이뤄낸 결과물"이라고 밝혔다. 

정종호 학생은 "학부연구생을 시작할 때 이렇게 좋은 결과를 얻을 줄 몰랐는데, 연구기회를 주신 교수님과 연구를 도와준 대학원생들에게 감사하다"며 "학부연구생 경험을 바탕으로 졸업 후 반도체 산업 발전에 기여하고 싶다"고 전했다.